(19)
(11) EP 1 257 496 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.03.2002

(43) Veröffentlichungstag:
20.11.2002  Patentblatt  2002/47

(21) Anmeldenummer: 00990587.8

(22) Anmeldetag:  28.12.2000
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 3/00, G01P 15/08, B81C 1/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0004/673
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0105/8803 (16.08.2001 Gazette  2001/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 10.02.2000 DE 10006035

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • FISCHER, Frank
    72810 Gomaringen (DE)
  • HEIN, Peter
    72770 Reutlingen (DE)
  • GRAF, Eckhard
    72810 Gomaringen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS SOWIE EIN NACH DEM VERFAHREN HERGESTELLTES BAUELEMENT