(19)
(11) EP 1 257 683 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.11.2002  Patentblatt  2002/47

(21) Anmeldenummer: 01905813.0

(22) Anmeldetag:  21.02.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 14/56, H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0101/931
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0106/3002 (30.08.2001 Gazette  2001/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 25.02.2000 DE 10008829

(71) Anmelder: STEAG RTP Systems GmbH
89160 Dornstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • NENYEI, Zsolt
    89134 Wippingen (DE)
  • LERCH, Wilfried
    89160 Dornstadt (DE)
  • NIESS, Jürgen
    89567 Sontheim (DE)
  • GRAF, Thomas
    88400 Biberach (DE)

(74) Vertreter: Wagner & Geyer 
Gewürzmühlstrasse 5
D-80538 München
D-80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON ADSORBIERTEN MOLEKÜLEN AUS EINER KAMMER