(19)
(11) EP 1 258 032 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.11.2002  Patentblatt  2002/47

(21) Anmeldenummer: 01916884.8

(22) Anmeldetag:  26.01.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/20, G01L 9/00, H01L 21/02, H01L 29/84
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/314
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0105/9818 (16.08.2001 Gazette  2001/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 09.02.2000 DE 10005564

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • EMILI, Walter
    72810 Gomaringen (DE)
  • GOEBEL, Herbert
    72766 Reutlingen (DE)
  • WANKA, Harald
    72766 Reutlingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DEFINIERTER POLYKRISTALLINER SILIZIUM-BEREICHE IN EINER AMORPHEN SILIZIUMSCHICHT