(19)
(11) EP 1 258 036 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.11.2002  Patentblatt  2002/47

(21) Anmeldenummer: 01911688.8

(22) Anmeldetag:  22.02.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/316
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0102/035
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0106/3658 (30.08.2001 Gazette  2001/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 24.02.2000 DE 10008617

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • CERVA, Hans
    81377 München-Untersendling (DE)
  • HINTERMAIER, Frank
    81547 München (DE)
  • SCHINDLER, Günther
    80802 München (DE)
  • WINTERAUER, Franz
    A-4820 Bad Ischl (AT)
  • HARTNER, Walter
    Glen Allen, VA 23060 (US)
  • HÖPFNER, Joachim
    82152 Planegg (DE)
  • WEINRICH, Volker
    F-75014 Paris (FR)

(74) Vertreter: Zimmermann & Partner 
Postfach 33 09 20
80069 München
80069 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER FERROELEKTRISCHEN SCHICHT