ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIE......FI....CY..TR............................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01258036A120021120EP01911688.82001022220020820DeDeDe1000861720000224DE20021120200247200211202002477 7H 01L 21/316 AdeVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER FERROELEKTRISCHEN SCHICHTenMETHOD FOR PRODUCING A FERROELECTRIC LAYERfrPROCEDE DE PRODUCTION D'UNE COUCHE FERRO-ELECTRIQUEInfineon Technologies AG02806431INF-P10548-WOTechnologies AG, InfineonSt.-Martin-Strasse 5381669 MünchenDECERVA, HansSpecklinplatz 3181377 München-UntersendlingDEHINTERMAIER, FrankSüdtiroler Str. 581547 MünchenDESCHINDLER, GüntherUngererstr. 1980802 MünchenDEWINTERAUER, FranzLärchenwaldstr. 1AA-4820 Bad IschlATHARTNER, Walter10711 Toston LaneGlen Allen, VA 23060USHÖPFNER, JoachimMagdalenenweg 582152 PlaneggDEWEINRICH, VolkerHotel Citadines Montparnasse,67, ave. du MaineF-75014 ParisFRZimmermann & Partner00101591Postfach 33 09 2080069 MünchenDEATBECHCYDEDKESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSETREP010203520010222DeWO0106365820010830200135