(19)
(11) EP 1 259 978 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
06.12.2000

(43) Veröffentlichungstag:
27.11.2002  Patentblatt  2002/48

(21) Anmeldenummer: 01921151.5

(22) Anmeldetag:  02.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/205
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/777
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0106/5592 (07.09.2001 Gazette  2001/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 02.03.2000 DE 10009945

(71) Anmelder: Aixtron AG
52072 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • DADGAR, Armin
    10963 Berlin (DE)
  • KROST, Alois
    13587 Berlin (DE)
  • HEUKEN, Michael
    52078 Aachen (DE)
  • ALAM, Assadulah
    52064 Aachen (DE)
  • SCHÖN, Oliver
    52134 Herzogenrath (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk, Dr. et al
c/o Rieder & Partner,Corneliusstrasse 45
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON GRUPPE-III-N, GRUP PE-III-V-N UND METALL-STICKSTOFF-BAUELEMENTSTRUKTUREN AUF Si-SUBSTRATEN