(19)
(11) EP 1 259 982 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.11.2002  Patentblatt  2002/48

(21) Anmeldenummer: 01271897.9

(22) Anmeldetag:  21.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/768, H01L 21/316
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/AT0100/401
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0205/2640 (04.07.2002 Gazette  2002/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 27.12.2000 AT 9492000

(71) Anmelder: PLANSEE Aktiengesellschaft
6600 Reutte, Tirol (AT)

(72) Erfinder:
  • SCHINTLMEISTER, Arno
    A-6600 Reutte/Tirol (AT)
  • WILHARTITZ, Peter
    A-6600 Reutte,Tirol (AT)

(74) Vertreter: Lohnert, Wolfgang, Dr. 
Plansee Aktiengesellschaft
6600 Reutte
6600 Reutte (AT)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERABSETZUNG DES SPEZIFISCHEN WIDERSTANDES EINER ELEKTRISCH LEITENDEN MOLYBDÄN-SCHICHT