CONNEXION ELECTRIQUE ENTRE DEUX FACES D'UN SUBSTRAT ET PROCEDE DE REALISATION - Patent 1259983

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EP 1 259 983 A1

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(43)	Date de publication:
	27.11.2002 Bulletin 2002/48

(21)	Numéro de dépôt: 01909909.2

(22)	Date de dépôt: 27.02.2001

(51)	Int. Cl.⁷: H01L 21/768, H01L 23/48

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR0100/565

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 0106/5598 (07.09.2001 Gazette 2001/36)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

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Priorité:

28.02.2000 FR 0002446

(71)	Demandeurs:
	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR) PHS MEMS 75001 Paris (FR)

(72)	Inventeurs:
	VIEUX-ROCHAZ, Line F-38360 Sassenage (FR) CUCHET, Robert F-38000 Grenoble (FR) GIRARD, Olivier F-38120 Saint-Egreve (FR)

(74)	Mandataire: Brykman, Georges et al
	c/o BREVATOME3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	CONNEXION ELECTRIQUE ENTRE DEUX FACES D'UN SUBSTRAT ET PROCEDE DE REALISATION