(19)
(11) EP 1 261 982 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.12.2002  Patentblatt  2002/49

(21) Anmeldenummer: 01909713.8

(22) Anmeldetag:  31.01.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/08, H01J 27/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0100/996
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0106/7482 (13.09.2001 Gazette  2001/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 04.03.2000 DE 10010706

(71) Anmelder: Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH
64291 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • MÜLLER, Michael
    68195 Mannheim (DE)

   


(54) HOHLKATHODEN-SPUTTER-IONENQUELLE ZUR ERZEUGUNG VON IONENSTRAHLEN HOHER INTENSITÄT