(19)

(11)

EP 1 263 675 A1

(12)

(43) Date de publication: 11.12.2002  Bulletin  2002/50 (21) Numéro de dépôt: 00960604.7 (22) Date de dépôt:  05.09.2000

(51) Int. Cl.7: B81B 3/00, B81C 1/00, G02B 26/08, H01L 21/306, H01L 31/0216 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP0008/655 (87) Numéro de publication internationale: WO 0101/9723 (22.03.2001 Gazette  2001/12)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE (30) Priorité: 10.09.1999 EP 99117852 (71) Demandeur: ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) 1015 Lausanne (CH)	(72) Inventeur: LAMMEL, Gerhard 72074 Tübingen (DE) (74) Mandataire: Ravenel, Thierry Gérard Louis et al I C B,Ingénieurs Conseils en Brevets SA,7, rue des Sors 2074 Marin 2074 Marin (CH)