(19)
(11) EP 1 264 190 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.12.2002  Patentblatt  2002/50

(21) Anmeldenummer: 01913677.9

(22) Anmeldetag:  16.02.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01R 27/26
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/626
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0106/7119 (13.09.2001 Gazette  2001/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 06.03.2000 DE 10010888

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KOLLMER, Ute
    81737 München (DE)
  • SAUTER, Stephan
    81756 München (DE)
  • LINNENBANK, Carsten
    80636 München (DE)
  • THEWES, Roland
    82194 Gröbenzell (DE)

(74) Vertreter: Kindermann, Peter 
Kindermann PatentanwältePostfach 1330
85627 Grasbrunn
85627 Grasbrunn (DE)

   


(54) SCHALTUNGSANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM BEWERTEN VON KAPAZITÄTEN IN MATRIZEN