ELEKTRONISCHES BAUELEMENT MIT EINER ELEKTRISCH LEITENDEN VERBINDUNG AUS CARBON-NANORÖHREN UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG - Patent 1264344

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EP 1 264 344 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	11.12.2002 Patentblatt 2002/50

(21)	Anmeldenummer: 01909557.9

(22)	Anmeldetag: 02.02.2001

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 23/498, D01F 9/12

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE0100/419

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0106/1753 (23.08.2001 Gazette 2001/34)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorität:

16.02.2000 DE 10006964

(71)	Anmelder: Infineon Technologies AG
	81669 München (DE)

(72)	Erfinder:
	ENGELHARDT, Manfred 83620 Feldkirchen-Westerham (DE) HÖNLEIN, Wolfgang 82008 Unterhaching (DE) KREUPL, Franz 80469 München (DE)

(74)	Vertreter: Dokter, Eric-Michael
	Anwaltskanzlei,Viering, Jentschura & Partner,Steinsdorferstrasse 6 80538 München 80538 München (DE)

(54)	ELEKTRONISCHES BAUELEMENT MIT EINER ELEKTRISCH LEITENDEN VERBINDUNG AUS CARBON-NANORÖHREN UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG