INTEGRIERTES BAUELEMENT MIT METALL-ISOLATOR-METALL-KONDENSATOR - Patent 1264351

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EP 1 264 351 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	11.12.2002 Patentblatt 2002/50

(21)	Anmeldenummer: 01919307.7

(22)	Anmeldetag: 19.02.2001

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 29/92, H01L 21/02

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP0101/853

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0106/5610 (07.09.2001 Gazette 2001/36)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

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Priorität:

01.03.2000 EP 00104264

(71)	Anmelder: Infineon Technologies AG
	81669 München (DE)

(72)	Erfinder:
	SCHRENK, Michael 86911 Diessen (DE) SCHWERD, Markus 83607 Holzkirchen (DE)

(74)	Vertreter: Ginzel, Christian et al
	Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20 80069 München 80069 München (DE)

(54)	INTEGRIERTES BAUELEMENT MIT METALL-ISOLATOR-METALL-KONDENSATOR