(19)

(11)

EP 1 266 046 A1

(12)

(43) Date de publication: 18.12.2002  Bulletin  2002/51 (21) Numéro de dépôt: 01913997.1 (22) Date de dépôt:  13.03.2001

(51) Int. Cl.7: C23C 16/503, C23C 16/40 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR0100/746 (87) Numéro de publication internationale: WO 0106/8941 (20.09.2001 Gazette  2001/38)

(84) Etats contractants désignés: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Etats d'extension désignés: AL LT LV MK RO SI (30) Priorité: 15.03.2000 FR 0003306 (71) Demandeur: L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 75321 Paris Cedex 07 (FR)	(72) Inventeurs: MASSINES, Françoise,Université Paul Sabatier F-31062 Toulouse (FR) GHERARDI, Nicolas,université Paul Sabatier F-31062 Toulouse (FR) RAMES-LANGLADE, Géraldine F-92370 Chaville (FR) VILLERMET, Alain F-78220 Viroflay (FR) (74) Mandataire: Mellul-Bendelac, Sylvie Lisette  L'Air Liquide,Service Propriété Industrielle,75, Quai d'Orsay 75321 Paris Cedex 07 75321 Paris Cedex 07 (FR)