(19)
(11) EP 1 266 229 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.12.2002  Patentblatt  2002/51

(21) Anmeldenummer: 01915072.1

(22) Anmeldetag:  01.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01P 15/08, G01P 15/125
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/770
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0106/9267 (20.09.2001 Gazette  2001/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 16.03.2000 DE 10012960

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • PINTER, Stefan
    72762 Reutlingen (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT