(19)
(11) EP 1 266 401 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.12.2002  Patentblatt  2002/51

(21) Anmeldenummer: 01921226.5

(22) Anmeldetag:  19.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/336
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/080
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0107/3839 (04.10.2001 Gazette  2001/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 24.03.2000 EP 00106458

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LACHNER, Rudolf
    85051 Ingolstadt (DE)
  • CAPPELLANI, Annalisa
    01099 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Graf Lambsdorff, Matthias, Dr. et al
PatentanwälteLambsdorff & LangeDingolfinger Strasse 6
81673 München
81673 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ELEKTRISCHEN VERBINDUNGEN ZWISCHEN EINZELNEN SCHALTUNGSELEMENTEN