(19)
(11) EP 1 266 408 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.12.2002  Patentblatt  2002/51

(21) Anmeldenummer: 01919175.8

(22) Anmeldetag:  08.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/786, H01L 21/336, H01L 29/423
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/878
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0106/9686 (20.09.2001 Gazette  2001/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 13.03.2000 DE 10012112

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HOFMANN, Franz
    80995 München (DE)
  • RÖSNER, Wolfgang
    85521 Ottobrunn (DE)
  • LUYKEN, Richard, Johannes
    81825 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) STEG-FELDEFFEKTTRANSISTOR UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES STEG-FELDEFFEKTTRANSISTORS