(19)
(11) EP 1 267 425 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
16.11.2005  Patentblatt  2005/46

(43) Veröffentlichungstag A2:
18.12.2002  Patentblatt  2002/51

(21) Anmeldenummer: 02013415.1

(22) Anmeldetag:  12.06.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 41/09
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 12.06.2001 DE 10128483
07.11.2001 DE 10154526

(71) Anmelder: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
76228 Karlsruhe (DE)

(72) Erfinder:
  • Wischnewskiy, Wladimir, Dr.
    76337 Waldbronn (DE)

(74) Vertreter: Kruspig, Volkmar et al
Patentanwälte Meissner, Bolte & Partner Postfach 86 06 24
81633 München
81633 München (DE)

   


(54) Piezoelektrisches Stellelement


(57) Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Stellelement, insbesondere piezoelektrische Motor in Form eines monolithischen plattenförmigen oder zylindrischen piezoelektrischen Oszillators (7) mit einer ersten und einer zweiten Art von Hauptoberflächen und diesen zugeordneten Elektrodengruppen (19,20,21,22), umfassend ein Gehäuse (1), ein getriebenes Element (3), mindestens eine sich auf dem Gehäuse oder auf dem getriebenen Element befindliche Friktionsschicht (4), ein mit einer elektrischen Erregerquelle verbundenes und mit der Friktionsschicht im Friktionskontakt stehendes treibendes Element (5), wobei der piezoelektrische Oszillator durch die Elektrodengruppen zu stehenden longitudinalen akustischen Wellen in Richtung einer Oszillatorresonanzlänge (L) sowie einer Oszillatorresonanzhöhe (H) dieses piezoelektrischen Oszillators angeregt wird, wobei weiterhin die Oszillatorresonanzlänge gleich oder einem ganzzahligen Vielfachen der Wellenlänge der in ihre Richtung schwingenden stehenden longitudinalen akustischen Welle ist, sowie die Oszillatorresonanzhöhe gleich einer halben Wellenlänge der in ihre Richtung schwingenden stehenden longitudinalen akustischen Welle ist, wobei sowohl die Oszillatorresonanzlänge, als auch die Oszillatorresonanzhöhe in der Weise gewählt sind, daß die Frequenzen der sich durch den piezoelektrischen Oszillator ausbreitenden stehenden longitudinalen akustischen Wellen in Richtung der Oszillatorresonanzlänge, als auch der Oszillatorresonanzhöhe gleich sind.







Recherchenbericht