(19)

(11)

EP 1 268 121 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.01.2003  Patentblatt  2003/01 (21) Anmeldenummer: 01931554.8 (22) Anmeldetag:  30.03.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B23P 19/00, B23P 19/04, B23Q 7/10, B81C 3/00, G04D 1/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0103/642 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0107/2467 (04.10.2001 Gazette  2001/40)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 31.03.2000 DE 10016017 (71) Anmelder: INSTITUT FÜR MIKROTECHNIK MAINZ GmbH 55129 Mainz-Hechtsheim (DE)	(72) Erfinder: EHRFELD, Wolfgang 55124 Mainz (DE) BERG, Udo 55129 Mainz (DE) (74) Vertreter: Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche  PatentanwältePostfach 46 60 65036 Wiesbaden 65036 Wiesbaden (DE)