(19)
(11) EP 1 268 878 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.01.2003  Patentblatt  2003/01

(21) Anmeldenummer: 01966772.4

(22) Anmeldetag:  08.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/515, C23C 30/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/903
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0107/7408 (18.10.2001 Gazette  2001/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 06.04.2000 DE 10016958

(71) Anmelder: Widia GmbH
45145 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • KÖNIG, Udo
    45149 Essen (DE)
  • TABERSKY, Ralf
    46240 Bottrop (DE)
  • VAN DEN BERG, Hendrikus
    NL-5925 BT Venlo-Blerick (NL)

(74) Vertreter: Vomberg, Friedhelm, Dipl.-Phys. 
Schulstrasse 8
42653 Solingen
42653 Solingen (DE)

   


(54) MIT MULTILAGEN-SCHICHTEN BESCHICHTETER SUBSTRATKÖRPER UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG