(19)

(11)

EP 1 269 532 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.01.2003  Patentblatt  2003/01 (21) Anmeldenummer: 01927614.6 (22) Anmeldetag:  28.03.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/56 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0101/165 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0107/5962 (11.10.2001 Gazette  2001/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 31.03.2000 DE 10016135 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: FISCHBACH, Reinhard 81539 München (DE) FRIES, Manfred 94336 Hunderdorf (DE) ZAESKE, Manfred 12157 Berlin (DE) (74) Vertreter: Schweiger, Martin, Dipl.-Ing. et al Schweiger & PartnerAnwaltskanzleiKarl-Theodor-Strasse 69 80803 München 80803 München (DE)