(19)
(11) EP 1 269 533 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.01.2003  Patentblatt  2003/01

(21) Anmeldenummer: 01916920.0

(22) Anmeldetag:  12.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/58, H01L 23/373
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0100/932
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0107/5963 (11.10.2001 Gazette  2001/41)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 31.03.2000 DE 10016129

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHWARZBAUER, Herbert
    81373 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER WÄRMELEITENDEN VERBINDUNG ZWISCHEN ZWEI WERKSTÜCKEN