(19)

(11)

EP 1 269 551 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.01.2003  Patentblatt  2003/01 (21) Anmeldenummer: 01937967.6 (22) Anmeldetag:  03.04.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/09 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0101/299 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0107/5987 (11.10.2001 Gazette  2001/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 04.04.2000 DE 10016621 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: HOFMANN, Herbert DI verstorben (DE) HOFMANN, Renate HF 96257 Redwitz (DE) RIEDEL, Michael 96472 Rödental (DE) SCHMID, Andreas 96247 Michelau (DE)