ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIE......FI....CY..TR............................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01272286A220030108EP01927907.42001041020020910DeDeDe1001784620000411DE20030108200302200301082003027 7B 05D 7/24 AdeVERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINER POLYMERSCHICHT UND VERWENDUNG DERSELBENenMETHOD FOR DEPOSITING A POLYMER LAYER AND THE USE THEREOFfrPROCEDE DE DEPOT D'UNE COUCHE POLYMERE ET UTILISATION DE CETTE COUCHEFRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.00211779OOF36094-ISTLeonrodstrasse 5480636 MünchenDETHYEN, RudolfNeue Strasse 2138100 BraunschweigDEKLÄKE, NiklasSpinnerstrasse 4038114 BraunschweigDEHÖPFNER, KatrinIm Unterdorf 7 A38527 MeineDEKLAGES, Claus-PeterLützkowstrasse 138102 MünchenDEATBECHCYDEDKESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSETREP010410820010410DeWO010767732001101820014220020228000000