(19)
(11) EP 1 272 693 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.01.2003  Patentblatt  2003/02

(21) Anmeldenummer: 01933606.4

(22) Anmeldetag:  12.04.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C30B 25/02, C30B 29/40
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/446
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0107/7421 (18.10.2001 Gazette  2001/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 12.04.2000 DE 10018128

(71) Anmelder: Aixtron AG
52072 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHÖTTKER, Bernd
    52072 Aachen (DE)
  • WACHTENDORF, Bernd
    Hsin-Chu, 300 (TW)
  • HEUKEN, Michael
    52078 Aachen (DE)
  • STRAUCH, Gerd
    52072 Aachen (DE)
  • JÜRGENSEN, Holger
    52072 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk, Dr. et al
Rieder & PartnerAnwaltskanzleiPostfach 11 04 51
42304 Wuppertal
42304 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM WACHSTUM VON STICKSTOFF ENTHALTENDEN HALBLEITERKRISTALLMATERIALIEN