(19)
(11)
EP 1 273 052 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
08.01.2003
Patentblatt 2003/02
(21)
Anmeldenummer:
01933604.9
(22)
Anmeldetag:
12.04.2001
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
H01L
51/40
,
H01L
51/20
,
G03F
7/00
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/444
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0107/8163
(
18.10.2001
Gazette 2001/42)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
(30)
Priorität:
12.04.2000
DE 10018168
(71)
Anmelder:
Osram Opto Semiconductors GmbH
93049 Regensburg (DE)
(72)
Erfinder:
BLÄSSING, Jörg
91058 Erlangen (DE)
WITTMANN, Georg
91074 Herzogenaurach (DE)
STÖSSEL, Matthias
91058 Erlangen (DE)
(74)
Vertreter:
Epping Hermann & Fischer
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)
(54)
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON ORGANISCHEN, LICHT EMITTIERENDEN DIODEN