(19)
(11) EP 1 273 052 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.01.2003  Patentblatt  2003/02

(21) Anmeldenummer: 01933604.9

(22) Anmeldetag:  12.04.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 51/40, H01L 51/20, G03F 7/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/444
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0107/8163 (18.10.2001 Gazette  2001/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 12.04.2000 DE 10018168

(71) Anmelder: Osram Opto Semiconductors GmbH
93049 Regensburg (DE)

(72) Erfinder:
  • BLÄSSING, Jörg
    91058 Erlangen (DE)
  • WITTMANN, Georg
    91074 Herzogenaurach (DE)
  • STÖSSEL, Matthias
    91058 Erlangen (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON ORGANISCHEN, LICHT EMITTIERENDEN DIODEN