(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR |
(30) |
Priorität: |
18.04.2000 DE 10019106
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(71) |
Anmelder: Leybold Vakuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- BEYER, Christian
50765 Köln (DE)
- BOY, Hermann
50171 Kerpen (DE)
- BAHNEN, Rudolf
52159 Roetgen (DE)
- SCHÖNBORN, Frank
51061 Köln (DE)
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(74) |
Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. et al |
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Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE) |
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