(19)
(11) EP 1 274 942 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.01.2003  Patentblatt  2003/03

(21) Anmeldenummer: 01927731.8

(22) Anmeldetag:  15.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04C 29/00, F04C 18/16
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0102/972
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0107/9701 (25.10.2001 Gazette  2001/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 18.04.2000 DE 10019066

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • BEHLING, Manfred
    50968 Köln (DE)
  • BRENNER, Lothar
    53902 Bad Münstereifel (DE)
  • DREIFERT, Thomas
    50996 Köln (DE)
  • KRIEHN, Hartmut
    50997 Köln (DE)
  • ROFALL, Klaus
    50996 Köln (DE)

(74) Vertreter: Leineweber, Jürgen, Dipl.-Phys. et al
Aggerstrasse 24
50859 Köln
50859 Köln (DE)

   


(54) VAKUUMPUMPE MIT ZWEI ZUSAMMENWIRKENDEN ROTOREN