(19)
(11) EP 1 274 987 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.01.2003  Patentblatt  2003/03

(21) Anmeldenummer: 01931443.4

(22) Anmeldetag:  12.04.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01N 21/88, G01N 21/95
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/442
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0107/9822 (25.10.2001 Gazette  2001/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 19.04.2000 DE 10019486

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GERHARD, Detlef
    81739 München (DE)
  • LECHNER, Johannes
    80798 München (DE)

   


(54) ANORDNUNG ZUR INSPEKTION VON OBJEKTOBERFLÄCHEN