(19)
(11) EP 1 275 133 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.01.2003  Patentblatt  2003/03

(21) Anmeldenummer: 01931374.1

(22) Anmeldetag:  17.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/32, H01L 21/3065
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/031
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0203/3728 (25.04.2002 Gazette  2002/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 19.10.2000 DE 10051831

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BREITSCHWERDT, Franz
    70794 Filderstadt (DE)
  • BECKER, Volker
    76359 Marxzell (DE)
  • LAERMER, Franz
    71263 Weil der Stadt (DE)
  • SCHILP, Andrea
    70563 Stuttgart (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ÄTZEN EINES SUBSTRATES MITTELS EINES INDUKTIV GEKOPPELTEN PLASMAS