(19)
(11) EP 1 277 227 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.01.2003  Patentblatt  2003/04

(21) Anmeldenummer: 01921358.6

(22) Anmeldetag:  29.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0103/578
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0108/2337 (01.11.2001 Gazette  2001/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 25.04.2000 DE 10020185

(71) Anmelder: Mattson Wet Products Gmbh
72124 Pliezhausen (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHENKL, Manfred
    72076 Tübingen (DE)
  • PESCE, Robert
    72770 Reutlingen (DE)
  • OSHINOWO, John
    22455 Hamburg (DE)
  • MÜLLER, Uwe
    01219 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Wagner & Geyer 
Gewürzmühlstrasse 5
D-80538 München
D-80538 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEHANDELN VON HALBLEITERWAFERN