(19)
(11) EP 1 280 615 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.02.2003  Patentblatt  2003/06

(21) Anmeldenummer: 01938206.8

(22) Anmeldetag:  08.05.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7B05D 3/06
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0105/228
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0108/5363 (15.11.2001 Gazette  2001/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 08.05.2000 DE 10022223
19.05.2000 DE 10024731

(71) Anmelder: Advanced Photonics Technologies AG
83052 Bruckmühl-Heufeld (DE)

(72) Erfinder:
  • BÄR, Kai, K., O.
    83052 Bruckmühl-Heufeld (DE)
  • GAUS, Rainer
    83052 Bruckmühl (DE)

(74) Vertreter: Heinze, Ekkehard, Dipl.-Phys. Dr. 
Meissner, Bolte & PartnerPostfach 86 06 24
D-81633 München
D-81633 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR HERSTELLUNG EINES DÜNNEN SCHICHTAUFBAUS