(19)
(11) EP 1 281 048 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.02.2003  Patentblatt  2003/06

(21) Anmeldenummer: 02735048.7

(22) Anmeldetag:  17.04.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01F 1/684
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0201/424
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0208/4226 (24.10.2002 Gazette  2002/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 18.04.2001 DE 10118781

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • KONZELMANN, Uwe
    71679 Asperg (DE)
  • SCHULZ, Torsten
    70771 Leinfelden-Echterdingen (DE)

   


(54) SENSORCHIP MIT POTENTIALFLÄCHEN BZW. VERWENDUNG VON POTENTIALFLÄCHEN AUF EINEM SENSORCHIP BZW. VERFAHREN ZUR VERMEIDUNG VON VERSCHMUTZUNGEN AUF EINEM SENSORCHIP