(19)
(11) EP 1 281 194 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.02.2003  Patentblatt  2003/06

(21) Anmeldenummer: 01940170.2

(22) Anmeldetag:  18.04.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/501
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0108/6700 (15.11.2001 Gazette  2001/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 09.05.2000 DE 10022484

(71) Anmelder: Siemens Production and Logistics Systems AG
90475 Nürnberg (DE)

(72) Erfinder:
  • ESCHENWECK, Friedrich
    85622 Feldkirchen (DE)

   


(54) LÄNGSFÖRDERER