(19)
(11) EP 1 282 912 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.02.2003  Patentblatt  2003/07

(21) Anmeldenummer: 01933968.8

(22) Anmeldetag:  16.05.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/322, H01L 21/00, C23C 16/48
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0105/537
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0108/8974 (22.11.2001 Gazette  2001/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 18.05.2000 DE 10024710

(71) Anmelder: Mattson Thermal Products Gmbh
89160 Dorb (DE)

(72) Erfinder:
  • LERCH, Wilfried
    89160 Dornstadt (DE)
  • NIESS, Jürgen
    89567 Sontheim (DE)

(74) Vertreter: Wagner & Geyer 
Gewürzmühlstrasse 5
D-80538 München
D-80538 München (DE)

   


(54) EINSTELLUNG VON DEFEKTPROFILEN IN KRISTALLEN ODER KRISTALLÄHNLICHEN STRUKTUREN