(19)

(11)

EP 1 282 919 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.02.2003  Patentblatt  2003/07 (21) Anmeldenummer: 01933932.4 (22) Anmeldetag:  04.05.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/18, H01L 31/0224, H01L 33/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0105/060 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0108/6731 (15.11.2001 Gazette  2001/46)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 12.05.2000 DE 10023459 (71) Anmelder: Unaxis Deutschland Holding GmbH 63450 Hanau (DE)	(72) Erfinder: KLÖPPEL, Andreas 63695 Glauburg (DE) TRUBE, Jutta 63776 Mömbris (DE) (74) Vertreter: Herrmann-Trentepohl, Werner, Dipl.-Ing. et al PatentanwälteHerrmann-TrentepohlGrosse - Bockhorni & PartnerForstenrieder Allee 59 81476 München 81476 München (DE)