(19)
(11) EP 1 285 459 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.12.2002

(43) Veröffentlichungstag:
26.02.2003  Patentblatt  2003/09

(21) Anmeldenummer: 01921357.8

(22) Anmeldetag:  29.03.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0103/577
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0107/8112 (18.10.2001 Gazette  2001/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 05.04.2000 DE 10017010

(71) Anmelder: Mattson Wet Products Gmbh
72124 Pliezhausen (DE)

(72) Erfinder:
  • RODEWALDT, Thomas
    72127 Kusterdingen (DE)
  • WEHRLE, Felix
    72820 Sonnenbühl (DE)

(74) Vertreter: Wagner & Geyer 
Gewürzmühlstrasse 5
D-80538 München
D-80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BE- UND ENTLADEN EINES BEHANDLUNGSBECKENS