PROCEDE DE FABRICATION D'UN MODULATEUR DE TRANSMISSION POUR MICROLITHOGRAPHIE EN ULTRAVIOLET PROFOND ET MODULATEUR OBTENU PAR CE PROCEDE - Patent 1287178

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EP 1 287 178 A1

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(43)	Date de publication:
	05.03.2003 Bulletin 2003/10

(21)	Numéro de dépôt: 01936569.1

(22)	Date de dépôt: 17.05.2001

(51)	Int. Cl.⁷: C23C 16/26, G03F 1/00

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR0101/521

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 0109/0439 (29.11.2001 Gazette 2001/48)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorité:

22.05.2000 FR 0006521

(71)	Demandeur: CENTRE NATIONAL DELA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
	75016 Paris (FR)

(72)	Inventeurs:
	GOLANSKI, André F-67206 Mittelhausbergen (FR) PIAZZA, Fabrice F-67200 Strasbourg (FR) LACOSTE, Ana F-38950 St Martin le Vinoux (FR) ARNAL, Yves, Alban, Marie F-38320 Poisat (FR) PELLETIER, Jacques Henri Lucien F-38400 St Martin d'Hères (FR)

(74)	Mandataire: Habasque, Etienne Joel Jean-François et al
	Cabinet Lavoix2, Place d'Estienne d'Orves 75441 Paris Cédex 09 75441 Paris Cédex 09 (FR)

(54)	PROCEDE DE FABRICATION D'UN MODULATEUR DE TRANSMISSION POUR MICROLITHOGRAPHIE EN ULTRAVIOLET PROFOND ET MODULATEUR OBTENU PAR CE PROCEDE