(19)
(11) EP 1 287 250 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.03.2003  Patentblatt  2003/10

(21) Anmeldenummer: 01944976.8

(22) Anmeldetag:  07.06.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F02D 41/20, F02D 41/22, H01L 41/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0102/136
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0109/4768 (13.12.2001 Gazette  2001/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 08.06.2000 DE 10028353

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HIRN, Rainer
    93049 Regensburg (DE)
  • KÄSBAUER, Michael
    93073 Neutraubling (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ÜBERPRÜFUNG EINES KAPAZITIVEN STELLGLIEDES