(19)
(11) EP 1 287 546 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.03.2003  Patentblatt  2003/10

(21) Anmeldenummer: 01944922.2

(22) Anmeldetag:  10.05.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/32
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/777
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0108/8950 (22.11.2001 Gazette  2001/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 18.05.2000 DE 10024699

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • LAERMER, Franz
    71263 Weil der Stadt (DE)
  • SCHILP, Andrea
    73525 Schwaebisch Gmuend (DE)

   


(54) PLASMAÄTZANLAGE