(19)
(11) EP 1 287 563 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.03.2003  Patentblatt  2003/10

(21) Anmeldenummer: 01943066.9

(22) Anmeldetag:  14.05.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/78, H01L 29/786, H01L 29/51, H01L 21/3205
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0101/798
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0108/8996 (22.11.2001 Gazette  2001/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 16.05.2000 DE 10023871

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KREUPL, Franz
    80469 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) FELDEFFEKTTRANSISTOR UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES FELDEFFEKTTRANSISTORS