(19)
(11) EP 1 288 502 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.10.2003  Patentblatt  2003/44

(43) Veröffentlichungstag A2:
05.03.2003  Patentblatt  2003/10

(21) Anmeldenummer: 02017820.8

(22) Anmeldetag:  08.08.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04D 19/04, F04D 29/58
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 30.08.2001 DE 10142567

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Stanzel, Jörg
    35583 Asslar (DE)

   


(54) Turbomolekularpumpe


(57) Die Erfindung beschreibt eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- (12) und Statorscheiben (14), die abwechselnd hintereinander angeordnet sind. Die Scheiben sind mit Tragringen (16, 18) versehen, an denen Schaufeln angebracht sind. Der Tragring (22) der dem höheren Druckbereich zugewandten Statorscheibe (20) ist großflächig mit einem Gehäusebauteil (24) verbunden oder er bildet mit diesem eine einstückige Baueinheit.






Recherchenbericht