Anlage und Verfahren zur Abluftaufbereitung, insbesondere bei Reinraumanlagen

(19)

(11)

EP 1 291 586 A3

(12)	EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88)	Veröffentlichungstag A3:
	15.12.2004 Patentblatt 2004/51

(43)	Veröffentlichungstag A2:
	12.03.2003 Patentblatt 2003/11

(21)	Anmeldenummer: 02019612.7

(22)	Anmeldetag: 03.09.2002

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: F24F 3/16

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK RO SI

(30)

Priorität:

06.09.2001 DE 10143628

(71)	Anmelder: M+W Zander Facility Engineering GmbH
	70499 Stuttgart (DE)

(72)	Erfinder:
	Schottler, Martin 70197 Stuttgart (DE)

(74)	Vertreter: Jackisch-Kohl, Anna-Katharina
	Patentanwälte Jackisch-Kohl & Kohl Stuttgarter Strasse 115 70469 Stuttgart 70469 Stuttgart (DE)

(54)	Anlage und Verfahren zur Abluftaufbereitung, insbesondere bei Reinraumanlagen

(57) In der Reinraumtechnik werden Prozeßgeräte in einem Arbeitsraum aufgestellt, aus dem eine Mindestabluftmenge abgesaugt werden muß. Viele Installationen, insbesondere im Bereich der Reinraumtechnik, werden mit zu hohen Absaugvolumina ausgestattet. Um schadstoffbelastete Abluftströme einfach und kostengünstig zu reinigen und zurückzuführen, ist in der Abluftleitung (10) des Prozeßgerätes (2) mindestens ein Filter (11) angeordnet. Die Abluftleitung (10) ist mit einer Zuluftleitung (5, 5') des Prozeßgerätes (2) und/oder des Arbeitsraumes (3) verbunden. Die Abluft wird im Filter (11) gereinigt und kann zum Prozeßgerät (2) zurückgeleitet werden. Die Anlage wird im Bereich der Reinraumtechnik eingesetzt.

Recherchenbericht