(19)
(11) EP 1 292 714 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.03.2003  Patentblatt  2003/12

(21) Anmeldenummer: 01960285.3

(22) Anmeldetag:  08.06.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C21C 7/10
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0106/508
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0109/4649 (13.12.2001 Gazette  2001/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 09.06.2000 DE 10028172
09.06.2000 DE 20022375 U

(71) Anmelder: SMS Mevac GmbH
45141 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • TEWORTE, Rainer
    58239 Schwerte (DE)
  • EICHERT, Thomas
    44319 Dortmund (DE)
  • KOLLECKER, Hans
    58675 Hemer (DE)

(74) Vertreter: König, Gregor Sebastian, Dipl.-Biol. et al
König-Szynka-von RenessePatentanwälteLohengrinstrasse 11
40549 Düsseldorf
40549 Düsseldorf (DE)

   


(54) RÜSSELREINIGUNGSVORRICHTUNG FÜR VAKUUMENTGASUNGSGEFÄSSE