PROCEDE DE FABRICATION DE SUBSTRATS ET SUBSTRATS OBTENUS PAR CE PROCEDE - Patent 1292975

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EP 1 292 975 A1

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(43)	Date de publication:
	19.03.2003 Bulletin 2003/12

(21)	Numéro de dépôt: 01945456.0

(22)	Date de dépôt: 15.06.2001

(51)	Int. Cl.⁷: H01L 21/762

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR0101/876

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 0109/7282 (20.12.2001 Gazette 2001/51)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorité:

16.06.2000 FR 0007755

(71)	Demandeur: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
	38190 Bernin (FR)

(72)	Inventeur:
	AUBERTON-HERVE, André 38120 St. Egreve (FR)

(74)	Mandataire: Le Forestier, Eric et al
	Cabinet Régimbeau20, rue de Chazelles 75847 Paris cedex 17 75847 Paris cedex 17 (FR)

(54)	PROCEDE DE FABRICATION DE SUBSTRATS ET SUBSTRATS OBTENUS PAR CE PROCEDE