(19)

(11)

EP 1 292 995 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.03.2003  Patentblatt  2003/12 (21) Anmeldenummer: 01951401.7 (22) Anmeldetag:  18.06.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/09 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0102/250 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0109/9205 (27.12.2001 Gazette  2001/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 21.06.2000 DE 1003097 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 81669 München (DE)	(72) Erfinder: RIEDEL, Michael 96472 Rödental (DE)