(19)
(11) EP 1 294 639 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.03.2003  Patentblatt  2003/13

(21) Anmeldenummer: 01951386.0

(22) Anmeldetag:  15.06.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C01B 21/068, C01C 1/02, C01B 33/107, C01B 33/32, C01B 33/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0102/229
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0109/8205 (27.12.2001 Gazette  2001/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 17.06.2000 DE 10029903
17.06.2000 DE 10029902
17.06.2000 DE 10029911
16.08.2000 DE 10039753
16.08.2000 DE 10039752
16.08.2000 DE 10039751

(71) Anmelder: Kunkel, Klaus
40882 Ratingen (DE)

(72) Erfinder:
  • AUNER, Norbert
    60439 Frankfurt (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Hauck, Graalfs, Wehnert, Döring, Siemons, Schildberg 
Mörikestrasse 18
40474 Düsseldorf
40474 Düsseldorf (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR GEWINNUNG VON SILICIUMNITRID