(19)

(11)

EP 1 294 957 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 03.01.2003 (43) Veröffentlichungstag: 26.03.2003  Patentblatt  2003/13 (21) Anmeldenummer: 01925183.4 (22) Anmeldetag:  25.04.2001

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 2/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/AT0100/124 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0108/6015 (15.11.2001 Gazette  2001/46)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 05.05.2000 AT 7902000 (71) Anmelder: Ebner, Peter Helmut, Dipl.-Ing. 4060 Leonding (AT)	(72) Erfinder: Ebner, Peter Helmut, Dipl.-Ing. 4060 Leonding (AT) (74) Vertreter: Hübscher, Helmut, Dipl.-Ing. et al Spittelwiese 7 4020 Linz 4020 Linz (AT)