(19)
(11) EP 1 294 958 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.03.2003  Patentblatt  2003/13

(21) Anmeldenummer: 01951616.0

(22) Anmeldetag:  21.06.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 14/50, H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0106/995
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0200/2841 (10.01.2002 Gazette  2002/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 30.06.2000 DE 10032005

(71) Anmelder: Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
76133 Karlsruhe (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHEERER, Bernd
    76344 Eggenstein-Leopoldshafen (DE)
  • REINER, Johann
    76351 Linkenheim-Hochstetten (DE)
  • GRÜNINGER, Bernd
    F-67250 Stundwiller (FR)
  • LÖFFEL, Andreas
    76344 Eggenstein-Leopoldshafen (DE)

(74) Vertreter: Rückert, Friedrich, Dr. 
Forschungszentrum Karlsruhe GmbHPatente und LizenzenWeberstrasse 5
76133 Karlsruhe
76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) WAFERHALTERAD MIT EINER ANDRÜCKVORRICHTUNG