(19)
(11) EP 1 295 336 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
20.06.2002

(43) Veröffentlichungstag:
26.03.2003  Patentblatt  2003/13

(21) Anmeldenummer: 01949240.4

(22) Anmeldetag:  07.06.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/31, H01L 21/68, H01L 21/56, H01L 23/485
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0102/097
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0200/1634 (03.01.2002 Gazette  2002/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 27.06.2000 DE 10031204

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • PAULUS, Stefan
    93197 Zeitlarn (DE)

(74) Vertreter: Schweiger, Martin 
Karl-Theodor-Strasse 69
80803 München
80803 München (DE)

   


(54) SYSTEMTRÄGER FÜR HALBLEITERCHIPS UND ELEKTRONISCHE BAUTEILE SOWIE HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN SYSTEMTRÄGER UND FÜR ELEKTRONISCHE BAUTEILE